پژوهشگران آزمایشگاه نانوفناوری مهار فن ابزار با عرضه دستگاه آزمایشگاهی روشی را برای اندازه گیری ضخامت مواد چندلایه ارائه کرد.

به گزارش خبرگزاری مهر، این دستگاه با عنوان "دستگاه بیضی سنج طیف نگار" توسط محققان آزمایشگاه نانوفناوری مهر فن ابزار تولید شده است.

در این دستگاه، انطباق داده های نظری و عملی با بهره گیری از نرم‌ افزار اندازه گیری و آنالیز متشکل از مدلها و شبیه سازیها، صورت می گیرد. تجهیز این دستگاه با "مودولاتور"، "آنالیزور" و "جبران کننده"  از جمله مزیت های آن نسبت به نمونه های قبلی است.  

دستگاه بیضی سنج طیف نگار در اندازه گیری ضخامت و ضریب شکست لایه های شفاف بر روی زیرلایه های جاذب، اندازه گیری مواد چندلایه و آنالیز لایه های آمورف، پلی سیلیکون و SOI کاربرد دارد.  

آزمایشگاه نانوفناوری مهارفن ابزار، یکی از آزمایشگاه های عضو شبکه آزمایشگاهی فناوری نانو است که با استفاده از دستگاه ‌های SPM) STM و AFM) و همچنین بیضی سنج طیف نگار، به محققین سراسر کشور خدمات آزمایشگاهی ارایه می کند.